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规格型号：Quanta 200 FEG

制造厂商：FEI Company

主要技术指标：

本机装有固体背散射电子探头，E-T二次电子探头，LFGSED二次电子探头，GSED二次电子探头，X射线能谱议。可分别在高真空模式、低真空模式和环境扫描模式下进行二次电子、背散射电子形貌观察以及材料成分分析。

加速电压：500V~30kV

最大样品尺寸：50×50

高真空模式下观察分辨率<2nm，环境扫描模式<2nm

能谱的分辨率132eV元素测试范围：B5~U92

联系电话：021-695820140-605

地址：同济大学嘉定校区德才馆124